[한국대학신문 이용재 기자] 임연호 전북대 화학공학부 교수팀이 개발한 나노급 반도체 제작에 핵심이 되는 3차원 소프트웨어인 ‘3D SPEED’가 국내 대기업에 공급돼 상용화된다.

13일 전북대에 따르면 임 교수팀이 개발한 이 소프트웨어는 나노급 반도체 제조의 주요 공정 즉 회로 패턴이 드러나도록 하는 과정, 실리콘 기판 위에 플라즈마를 이용해 얇은 막을 입히거나 패터닝 하는 과정을 사전에 3차원 시뮬레이션을 통해 실제 공정 결과를 해석 및 예측할 수 있는 프로그램으로 국내 반도체 제작에 있어 막대한 시간과 비용을 절감할 수 있는 신기술이다.

임 교수팀은 지난 5년간 국가핵융합연구소 플라즈마 DB 센터(윤정식 박사팀), 표준과학연구원 진공센터(유신재 박사팀), 부산대학교(이해준 교수팀), 경원테크(팀장 유동훈)와 컨소시엄을 구축하여 공동 연구를 펼쳐왔다.

3차원 전산해석에 소요되는 계산 시간 단축을 위해 기존 중앙처리장치(CPU) 기반 계산 방식을 탈피해 동시에 여러 계산을 할 수 있는 병렬화에 성공, 단일 CPU 기반 제품 대비 100배 이상의 획기적인 계산시간 단축에 성공했다. 나노급 반도체 제조 공정에 적용을 위한 3D SPEED의 정확성은 다년간 컨소시엄과의 산학연 공동연구를 통해 확보해 왔다.

국내 반도체 대기업에서 지난 1년 동안 실제 공정에 대한 정확성과 계산 시간에 대한 타당성을 평가했고, 지난 7월 말 정식 구매 계약이 이뤄져 본격적인 나노급 반도체 제조 공정 해석 및 예측에 활용하기 시작했다.

전북대는 "임 교수가 개발한 소프트웨어는 향후 다수의 국내외 반도체 관련 대기업으로의 판매가 예상돼 경제적/산업적으로 미치는 파급효과가 클 것으로 예상된다"고 밝혔다.