인하대 LINC⁺ 사업단, 교내에 반도체 클린룸 구축한다
인하대 LINC⁺ 사업단, 교내에 반도체 클린룸 구축한다
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대학 측 “산업 현장과 비슷한 수준의 연구, 실습 가능”
▲ 인하대가 내달 중 교내에 산업현장 수준의 반도체 클린룸을 조성한다. 사진은 인하대 반도체 클린룸 도면.(사진=인하대)

[한국대학신문 김정현 기자] 인하대는 10일 교내에 반도체 공정이 가능한 클린룸을 조성한다고 밝혔다. 인하대 2호관 공과대학 1층에 내달 중 설치될 예정이다. 

반도체 클린룸은 330제곱미터(m2) 넓이로, CMOS 반도체 집적소자 제작장비, 중앙 공급식 설비가 들어선다. 마이크로미터 이하로 반도체 패턴 형성이 가능한 노광장비, 박막 증착장비, 식각장비 등 10종이다. 공기 질도 머리카락 크기 200분의 1 입자를 관리할 수 있는 수준인 청정도 등급 100~1000을 적용한다.

이번 클린룸 조성으로 인하대는 기존 첨단소재분석, 첨단소재공정 실습실에 이어 세 번째 ‘현장미러형실습센터’를 갖게 됐다. 이 대학은 현재 실습 교과목 8개를 비롯한 전공 교과목 63개, 기업 재직자 실무교육을 진행하고 있다. 클린룸 조성 후에는 반도체 전문 기업과 산학공동 과제를 진행할 계획이다. 참여하는 학부 3, 4학년 학생, 대학원생들은 반도체 기업과 문제해결형 연구과정(PSP)을 수행할 예정이다.

최리노 인하대 교수(반도체공정‧장비)는 “학생들의 실무 역량을 높이고, 기업의 인력난 해소와 산업 발전에 기여할 것”이라며 “클린룸 조성으로 현장미러형실습센터가 완성되면 관련 연구도 활발해질 것”이라고 전망했다.


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