[한국대학신문 이정환 기자] 아주대 오일권 교수 공동 연구팀이 전자현미경 측정을 위한 코팅 장비 및 공정 기술을 개발해 관련 기업에 기술이전했다. 기술이전 규모는 총 11억7500만원이다.
20일 아주대학교(총장 최기주)는 아주대 오일권 교수(지능형반도체공학과·전자공학과)와 인천대 이한보람 교수(신소재공학과) 연구팀이 주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM)의 선명한 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 방법을 개발해 이를 관련 기업에 기술이전했다고 밝혔다.
연구팀이 개발한 기술은 전자현미경 활용을 위한 전처리 장비의 핵심 기술이다. 이 기술은 100℃ 이하의 저온에서 샘플 표면에 전도성금속 박막을 형성할 수 있는 원자층 증착 공정(ALD)을 이용, 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성 박막을 매우 얇고 균일하게 코팅할 수 있게 한다.
이에 전자현미경 측정 시 샘플 표면의 변질이나 이미지 왜곡이 없는 선명한 현미경 이미지를 얻을 수 있다. 또 고온 처리가 필요 없어, 열로 인한 샘플 손상의 우려가 없다는 장점을 가진다.
반도체 원자층증착(ALD, Atomic Layer Deposition)은 원자층을 쌓아 올려 막을 만드는 적층 방식으로, 반도체 집적도를 높이기 위한 궁극의 기술로 주목받고 있다.
오른쪽(위, 아래) 이미지 : 공동 연구팀이 실험을 통해 확인한 원자층증착(ALD) 공정 과정. 이번에 개발한 기술을 바탕으로, (위 이미지) 원자층증착(ALD) 공정에서의 메탈 박막 단차 피복성(상부, 하부, 측면)이 우수함을 확인했고, (아래 이미지) 원자층증착(ALD) 공정을 진행한 주사전자현미경(SEM) 이미지 확인 결과 유기물에서도 메탈 박막 코팅이 가능함을 확인했다(아래 a를 확대한 모습이 아래 b).
해당 기술은 반도체 연구 장비를 생산하고 있는 기업 씨엔원(CN1)으로 이전됐다. 씨엔원(대표 정재학)은 반도체 원자층증착(ALD) 연구 장비를 생산하는 반도체·디스플레이 전문 장비 회사로, 국내 대학 및 연구기관과 삼성전자 등의 대기업에 장비를 공급해왔다.
2008년 설립된 이 회사는 주로 반도체 양산 전 단계의 R&D 시장을 공략해왔으며, 반도체뿐 아니라 2차전지 등으로 사업 영역을 확장해 가고 있다. 씨엔원은 미국, 일본, 중국, 싱가포르, 대만 등 해외시장에 진출해 글로벌 시장에서 입지를 넓혀가고 있으며, 끊임없는 기술 개발을 통해 외산 장비 의존율이 높은 국내 반도체 시장에서 묵묵히 장비 국산화에 이바지하고 있다. 이 회사는 2018년 수출유망중소기업 지정, 2019년 백만불 수출의 탑 수상, 2020년 글로벌 강소기업에 선정된 이노비즈(Inno-Biz) 인증 획득 등의 성과를 내왔다.
오일권 아주대 교수는 “이번에 개발한 기술을 활용하면 기존 방식의 코팅 기술로는 만들기 어려웠던 새로운 방식의 측정 샘플을 제작할 수 있다”며 “새로운 패러다임의 반도체 기술 개발을 위한 신시장이 창출될 것으로 본다”라고 전했다.
한편 이번 기술이전은 ‘2023년도 지역산업연계 대학 Open-Lab 육성 지원 사업’의 성과로, 아주대 공동 연구팀과 씨엔원은 앞으로 관련 기술에 대한 공동 연구를 이어갈 계획이다.
